为什么？？

syg00120001 · 发表于 2004-9-9 00:58:00

設計的膜厚．．．監控的膜厚．．．基板的膜厚．．．是不同的

超级狐狸 · 发表于 2004-9-9 01:05:00

设计的膜厚理论上应该和基板的膜厚相同吧？

showashinku · 发表于 2004-9-9 01:08:00

对与光控，若要使镀膜曲线与设计曲线一致，最好的方法便是抓准膜材的折射率

就是使实际的折射率与材料固有折射率尽量一致

zz · 发表于 2004-9-9 16:25:00

没有那么夸张吧，实际N只要和设计N一样即可。

TOOLING=实际厚度/显示厚度

超级狐狸 · 发表于 2004-9-9 19:18:00

sensor上的厚度就是显示的厚度吧？

eagle1 · 发表于 2004-9-20 03:50:00

怎么不进行测试?哦.

超级狐狸 · 发表于 2004-9-21 23:53:00

嘿嘿~~因为没有测试工具

wish · 发表于 2004-9-22 01:25:00

只从颜色上看，误差还是比较的大阿

x_x_x_f · 发表于 2004-9-26 19:19:00

我们用的是昭和真空SGC-26SA 看见monitor 用的是crystal monitor

高手能不能讲一下光控和晶控怎么判别啊？

kk60 · 发表于 2007-10-31 23:49:55

迷糊！！！！！！！！！！！！

gxbm · 发表于 2007-11-1 14:29:16

老大！！！看颜色能精确到525nm?

顶你个肺！

xx_912 · 发表于 2007-11-1 22:15:15

原帖由 zwl 于 2004-9-6 18:17 发表
怎样使镀膜曲线与设计曲线一致就目前的镀膜监控系统而言，有光控和晶控两种方式，对与光控，若要使镀膜曲线与设计曲线一致，最好的方法便是抓准膜材的折射率，而对与晶控。最好的方法便是抓准膜材的FACTOR值。 ...