液体/气体流量传感器芯片 气体传感器芯片

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液体/气体流量传感器芯片－MEMS工艺
Thermal Flow Sensor Die－热流量传感器






应用：
●质量流量，压差，空气波速度监测HVAC
●在发动机进气控制空气质量流量计（MAF）
●医疗呼吸器
●医疗注射泵、输液泵
●药物释放和生物医学分析仪器
●柴油发电机和发动机的燃油消耗监控
         

详细信息查看：http://www.suncityinc.com.cn/info/MEMS_TFD.html

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热导式气体传感器芯片
MEMS Thermal Conductivity Gas Sensor Die





应用：
●代替气相色谱(GC)系统和气体分析仪中传统的TCD(热导率检测器)        
●天然气/甲烷(CH4)，氢气(H2)，CO2和制冷剂气体监测
●天然气的质量控制
●天然气发动机燃烧控制
●燃料电池的应用
●空气质量（IAQ）
●皮拉尼真空计


详细信息查看：http://www.suncityinc.com.cn/info/MEMS_TCD.html

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