求助：自动压力控制apc

showashinku · 发表于 2004-9-6 23:48:00

我最近刚刚开始学成膜工艺

现在有个问题请教高手：

1，为什么镀膜过程中使用apc?那些材料需要使用apc控制？

2，apc控制过程中压力重要？还是气体流量更重要？

wazxq · 发表于 2004-9-7 22:32:00

看你叫SHOWA还以为你是昭和的呢

昭和设备应该是流量计控制离子源充气，APC压强控制真空室吧

showashinku · 发表于 2004-9-8 04:11:00

你知道昭和？

我的问题问得有点不太对头

应该问氧气分压对成膜有什么影响？

什么时候需要通氧气？

wish · 发表于 2004-9-8 16:04:00

不同的材料需要的氧气是不一样的，因为每个材料的稳定性不一样。

另：抵抗日货！

Leesnow · 发表于 2004-9-8 17:45:00

应该是充氧量和真空度两个问题,建议多看一下薄膜技术

!

vacuum · 发表于 2004-9-8 19:55:00

APC過程中壓力決定PLASMA的穩定度及密度,而氧流量則決定成膜的品質,所以二者並無誰重要誰不重要之分.

ld318 · 发表于 2004-9-19 04:58:00

To wish:

请问不同材料的需氧量如何判定？

具体介绍下HfO2， Al2O3， SIO2， TI2O5等的需氧量？谢谢~

vacuum · 发表于 2004-9-21 17:40:00

看論文!

wish · 发表于 2004-9-22 01:41:00

充氧量主要是根据材料本身的稳定程度的，象HfO2，siO2都比较稳定，可以少充点，Al2O3不是很稳定，尤其是镀膜时候折射率变化比较大，就需要调节好气压。Ti2O5就更加容易失氧拉，具体的工艺条件要根据自己的仪器和膜系要求来确定的。