亲，你知道是怎么回事嘛？

魅力薄膜 · 发表于 2013-2-23 21:23:55

亲
情况是这样的 ZRO2 镀200NM单层抽真空时间差不多流量控制在真空度2.0e-2 刚调好工具因子下一炉曲线又长移了40NM左右，我在找原因，操作方法都相同光斑位置在中间工件架转动平稳修正版是固定式的扩散泵真空稳定百思不得其解啊希望有经验人士给指点下哈。
非常感谢

纳米先生 · 发表于 2013-2-23 21:35:22

给你顶一下别让他沉了

相伴/sun天涯 · 发表于 2013-2-24 08:17:22

你镀zro2怎么要充O2了，是客户要求要充O2的吗。还充那么高2.0E-2 zro2对真空很敏感的你看一下不用充O2 如果在不行就是你机台的负载不行了。

qjy · 发表于 2013-2-24 11:25:35

折射率不稳定本身就是ZrO2材料的一个固有缺陷，另外你的监控也不一定非常准确，所以你说的这个结果是个正常现象

xiao2011 · 发表于 2013-2-24 14:24:45

captainH · 发表于 2013-2-24 21:31:16

做啥产品啊，要镀那么厚的ZRO2？是一个坩埚镀完呢还是分开的呢？为什么要充氧呢？

良哥 · 发表于 2013-2-25 11:02:02

连续多做几次，待机台稳定后应该就OK了。

魅力薄膜 · 发表于 2013-2-25 18:08:05

纯粹就是做实验。。想算一下他的折射率，结果发现这个漂移量有点接受不了冲气是为了保证他的真空度稳定

megan · 发表于 2013-2-27 10:38:37

你可以考虑膜料性质，块状比颗粒的好一些
块状大小合适的话光斑可以换个4-5次，每次不能时间太长，50-80nm就要换，不然穿孔就不好了
还有预融也要充分，放气什么很厉害，

光粒网-Kelly · 发表于 2013-2-27 14:57:46

yong0009 · 发表于 2013-2-27 16:47:41

ledboard · 发表于 2013-3-2 11:44:31

这个不是很清纯呢·

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