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[讨论] 一个关于镀膜的问题

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发表于 2013-3-18 18:20:59 | 显示全部楼层 |阅读模式
机台是现代南光的。镀的是手机镜片的膜层。问题如下:上了一伞镜片,开始抽真空,真空度达到2.5E-3。达到镀膜所需的真空度,在这个时候不进行镀膜,而是开始破真空,把镜片拿出来,结果镜片上有很多脏污、白点。想问下是什么原因造成的?

点评

一般抽真空后再充气都会有灰尘点的。灰尘多且越靠近片子灰尘点越多。  发表于 2013-3-19 22:15
发表于 2013-3-18 20:03:35 | 显示全部楼层
灰尘点

点评

机器清洁不到位,抽真空时灰尘飘起来。  发表于 2013-3-18 20:04
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发表于 2013-3-18 21:33:22 | 显示全部楼层
学习
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发表于 2013-3-19 09:58:15 | 显示全部楼层
洁净度没做好
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发表于 2013-3-19 16:26:24 | 显示全部楼层
充气阀开大了 预抽时间长点
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 楼主| 发表于 2013-3-19 18:13:58 | 显示全部楼层
wangliia 发表于 2013-3-19 09:58
洁净度没做好

换了新的护板,而且里里外外都用酒精擦了一遍,应该不会有问题了啊
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 楼主| 发表于 2013-3-19 18:14:40 | 显示全部楼层
maiwudi 发表于 2013-3-19 18:13
换了新的护板,而且里里外外都用酒精擦了一遍,应该不会有问题了啊

你们是怎么清理机台的?
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发表于 2013-3-20 05:08:53 | 显示全部楼层
先把充气阀装一个过滤器或者就地取材用纱布包裹,然后再充气拿 出来看看。一点一点排除
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 楼主| 发表于 2013-3-20 19:55:07 | 显示全部楼层
huang12949 发表于 2013-3-20 05:08
先把充气阀装一个过滤器或者就地取材用纱布包裹,然后再充气拿 出来看看。一点一点排除

破真空的进气口已装上空气过滤器。今天清理机台的时候,留意到,机台内部两个扩散泵空间有厚厚的一层锈,用酒精擦不掉,用砂纸可以。这是一直存在的,还有就是护板地下的一些线啊、管啊都很多灰尘,而且很难擦干净。这个会不会也是造成问题的原因
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发表于 2013-7-2 13:44:58 | 显示全部楼层
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发表于 2013-7-7 23:21:32 | 显示全部楼层
不镀膜,镀膜程序有有问题,镜片不干净,是洁净度的问题
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发表于 2013-7-8 14:23:49 | 显示全部楼层
灰尘多
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