脱膜原因分析和解决方法

超级狐狸 · 发表于 2004-12-21 16:58:00

颜色变化应该是折射率发生变化才会这个样子吧

书中小虾-1 · 发表于 2004-12-22 03:44:00

我个人认为是前处理不良引起占主要因素

超级狐狸 · 发表于 2004-12-22 16:39:00

不会吧，听前辈说以前一到冬天也出现这种情况

zjtzzw · 发表于 2004-12-27 05:55:00

应该跟返油、基片预处理、水汽有关

snebur · 发表于 2005-1-12 21:43:00

基板与膜的附着，主要依靠的范德华力，原子间的吸附。基板上不清洁是脱膜的根本原因。这样一来脱膜的问题就好解决了吧！

snebur · 发表于 2005-1-17 21:57:00

测量一下光谱曲线就明白了！

zz · 发表于 2005-2-1 23:30:00

超狐你也太强了吧,竟用盐水煮来判断牢固度.汗.

marcsle · 发表于 2005-2-2 00:41:00

应力也可引发脱膜现象，不知大家碰到过吗？

zz · 发表于 2005-2-2 20:13:00

只有很厚的膜才有可能引起脱膜.

marcsle · 发表于 2005-2-3 22:27:00

是,三十多层,B270的基底,不用离子源就脱,无法通过温度冲击实验

zjtzzg · 发表于 2005-2-6 00:40:00

我有碰到过基片边缘脱膜的情况，细长型的，而中间部分都很好！截反膜也有。基片处理和倒边部分都检查过了，没能发现什么问题，请教一下还有其他什么可能的原因，多谢了！

zz · 发表于 2005-2-7 17:40:00

侧面没洗干净或夹具没洗干净.或.....