脱膜原因分析和解决方法

yishu-chang · 发表于 2005-12-10 23:42:00

機板材質影響很大,PMMA加熱溫度有限,不易操作請慎選靶材

ZEONEX機板材鍍膜後不易脫膜

light_0405 · 发表于 2005-12-13 00:25:00

有可能是薄膜应力引起，建议调整膜料组合，或者镀缓冲层

宇轩 · 发表于 2005-12-13 05:44:00

如果是比较严重的脱膜的话就很有可能是膜料里有油污使之蒸镀上去了

比如甘锅上有油渍，在镀的过程中使甘锅挡板上带有油渍的膜料掉在甘锅里

然后蒸镀在基片上，这样的话就会造成严重脱膜。

我就碰到了这种情况

zzzz · 发表于 2005-12-14 18:30:00

造成的因素太多了,具体情况具体分析

gwl-1968 · 发表于 2005-12-18 17:30:00

只有三点才会脱膜：1）基片上架前清洗不干静，或是上架时受到污染。

　　　　　　　　　2）离子源能量与所镀膜料成膜时的应力不匹配。

　　　　　　　　　3）蒸发速率过大，导致膜层结构疏松。

　　　　　　　　　　其它的都是无稽之谈！

TATA深海蓝 · 发表于 2006-1-23 06:32:00

镀完没有，芯取以后有怎么办？

刁世贵 · 发表于 2006-2-7 23:42:00

大家说了这么多，都没有说到脱膜的真正原因。为什么清洁度及其他因素会因影响膜的脱落

alonso · 发表于 2006-2-10 05:57:00

好象没有太大帮助

有真正对镀膜，材料，结构都明白的人吗？

这样的人才权威！！

jufeng · 发表于 2006-2-10 18:50:00

基片清洁、烘烤温度、真空度是主要原因。如果返油的话,会大面积脱落。

evanxm · 发表于 2006-2-12 10:12:00

这些都是针对玻璃镀膜，请问对塑胶镀膜，不可能在烘烤时温度过高啊！只能在前处理时，用合适的清洗液清洗干净，镀前再用离子源进行轰击，增加表面活性么？但更多的是经过烘烤后出现膜裂现象，该怎么处理呢？

xiaohe · 发表于 2006-3-3 19:30:00

说的没错每道工艺都会对成膜有影响的。

mxb010ak47 · 发表于 2006-3-6 22:47:00

脱膜的问题牵涉许多因素，基片洁净度，基片材料属性，膜层间的应力配合，真空室是否有返油（针对油扩散泵设备而言）等等

真正的原因