用蒸发机如何在塑料薄膜表面镀制AlN薄膜

良哥 · 发表于 2013-8-19 10:16:52

各位大神：

不知有哪位用蒸发机在塑料薄膜上镀制AlN薄膜的？可否指导一下小弟？

1.离子源理应充N2吧，不知道调至多少合适，选择霍尔还是考夫曼？；
2.基片的材料不能高于80℃；
3.基片是类似于厚的塑料薄膜；
4.镀膜目的：蒸发机镀制AlN薄膜，使基片表面硬度增强，不能导电；

镀膜小鸟

良哥 · 发表于 2013-8-20 13:14:55

怎么没有帮我滴啊？？？

gb936 · 发表于 2013-8-20 14:28:46

期待你能成功

良哥 · 发表于 2013-8-20 16:51:16

gb936 发表于 2013-8-20 14:28
期待你能成功

谢谢有顶滴

良哥 · 发表于 2013-8-21 11:01:08

再给自己顶一个

ghtzna · 发表于 2013-8-24 08:04:14

蒸镀反应不充分建议溅镀

良哥 · 发表于 2013-8-26 15:48:07

ghtzna 发表于 2013-8-24 08:04
蒸镀反应不充分建议溅镀

溅镀可以镀3000nm？

ghtzna · 发表于 2013-8-27 07:34:07

良哥发表于 2013-8-26 15:48
溅镀可以镀3000nm？

新科隆的能镀

良哥 · 发表于 2013-8-28 17:07:33

ghtzna 发表于 2013-8-27 07:34
新科隆的能镀

要西，谢谢

crl0129 · 发表于 2013-12-7 12:13:24

学习中！！

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