超纳米晶金刚石（UNCD）用于微机电系统（MEMS）前景

十一维空间 · 发表于 2013-8-24 21:56:43

本帖最后由十一维空间于 2013-9-2 20:16 编辑

有没有做高端MEMS研究的呢？

超纳米晶金刚石（UNCD）相比Si, SiC等其他材料具有很多优势（超润滑、高硬度、超高导热能力、长寿命等）。目前，可以用在生物传感器, BioMEMS, RF MEMS, 三维微结构/探针（AFM probe），电化学传感器/电极, 纳米压印技术，疏水或亲水表面，金刚石膜层等。

我们用过UNCD，也用设备合成这种钻石，效果真的不错。有从事这方面研究的，欢迎讨论哈！

qq：2306438512

十一维空间 · 发表于 2013-9-7 01:01:02

没谁研究MEMS？

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