TI3O5镀膜参数求教

WENJINGREN · 发表于 2013-10-29 09:03:11

各位同仁：
使用TI3O5镀增透膜，实际与设计相差较多，想请教TI3O5的控制参数、密度等，谢谢。

霹靂貓 · 发表于 2013-10-29 17:06:37

xiaohuilee · 发表于 2013-10-29 18:29:11

tooling 折射率都对吗

WENJINGREN · 发表于 2013-10-30 09:42:12

xiaohuilee 发表于 2013-10-29 18:29
tooling 折射率都对吗

折射率没问题， tooling 改变后镀膜结果没有变化。

WENJINGREN · 发表于 2013-10-30 09:42:59

霹靂貓发表于 2013-10-29 17:06

设计的没问题，但镀后结果差很大

大大鸟鸟 · 发表于 2013-10-30 15:27:58

1.什么设备？
2.镀多厚？
3.速率多少？
4.你的折射率多少？

WENJINGREN · 发表于 2013-10-30 15:43:42

大大鸟鸟发表于 2013-10-30 15:27
1.什么设备？
2.镀多厚？
3.速率多少？

韩国设备，镀4层增透、9层增透，速率3A/秒

royyang · 发表于 2014-7-8 05:10:26

真空度不稳定

lkai1014 · 发表于 2014-7-8 07:53:18

把你设计的和镀出来结果传上来看看

lkai1014 · 发表于 2014-7-8 07:54:06

lkai1014 发表于 2014-7-8 07:53
把你设计的和镀出来结果传上来看看

去年的帖子了

wjwvsly · 发表于 2014-7-8 11:14:21

说明实际的光学厚度与设计的不符，也可以说是物理厚度和材料折射率值不准

crl0129 · 发表于 2014-7-21 14:35:13

设计的再漂亮，和机台的各项条件有差异的话是镀不出来的。。。。

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