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[原创] 关于tooling与TFC中group的方法、

 火... [复制链接]
发表于 2014-2-16 14:06:46 | 显示全部楼层 |阅读模式
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发表于 2014-2-17 19:52:12 | 显示全部楼层
这也有人买。自己试着算一下,不就出来了。
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发表于 2014-2-17 22:09:14 | 显示全部楼层
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发表于 2014-2-19 21:02:51 | 显示全部楼层
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发表于 2014-2-28 09:48:41 | 显示全部楼层
tooling值后期都是要从设计值到膜厚控制仪的,一般都是tooling=实际厚度/设计厚度。这样方便后期使用。
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发表于 2014-2-28 11:33:11 | 显示全部楼层
Group=1/tooling
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发表于 2014-4-1 13:06:50 | 显示全部楼层
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发表于 2014-4-2 20:50:38 | 显示全部楼层
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 楼主| 发表于 2014-4-13 19:53:03 | 显示全部楼层
qxb2008 发表于 2014-2-28 09:48
tooling值后期都是要从设计值到膜厚控制仪的,一般都是tooling=实际厚度/设计厚度。这样方便后期使用。

其实每个人的使用方法都不一样的。我见过一个竟然每层的tooling都不一样。不可思议吧。
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发表于 2014-4-14 19:18:10 | 显示全部楼层
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发表于 2014-4-14 21:29:27 | 显示全部楼层
xiaohuilee 发表于 2014-4-13 19:53
其实每个人的使用方法都不一样的。我见过一个竟然每层的tooling都不一样。不可思议吧。

tooling变化大吗?
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发表于 2014-4-14 22:28:25 | 显示全部楼层
再回复一下,把送出去的银子赚回来,呵呵。
以下关于 Tooling 的回复 转帖 至 <晶控仪XDM-3K>,呵呵。
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