关于小孔测量求助

幻儱 · 发表于 2014-3-3 15:09:29

10微米-100微米范围的小孔，不仅仅测孔径，包括深孔内部结构如何变化如：孔壁平行程度，直线程度，孔径圆度等，请问用什么方法及什么装备去测量，大家给建议，谢谢~

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digger2011 · 发表于 2014-3-5 08:12:18

小孔深度大约在什么范围？是透孔吗？

幻儱 · 发表于 2014-3-6 09:18:05

digger2011 发表于 2014-3-5 08:12
小孔深度大约在什么范围？是透孔吗？

深度大概是孔内径的5倍以上吧，孔内形态随机，透孔盲孔都想要测量

ds1234567 · 发表于 2014-3-10 19:50:32

孔垂直放置，高倍显微镜精密上下位移，在显微镜工作面位置放置一个小于孔径的标准圆样板，该圆同步位移，连续拍摄孔壁与标准圆的间隙公差，然后图像处理。

digger2011 · 发表于 2014-3-15 22:32:51

幻儱发表于 2014-3-6 09:18
深度大概是孔内径的5倍以上吧，孔内形态随机，透孔盲孔都想要测量

小孔材质是什么？是黑色的吗？

幻儱 · 发表于 2014-3-20 11:22:38

目前没有确定，只是寻找方法当中，要开一个关于微米级孔的测量的课题，您要是有什么好的方法都可以告诉我，谢谢

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