急求工艺问题大神请进

删除、过去式 · 发表于 2014-3-21 21:17:59

怎么解决zro2 1000-1100 吸收严重问题算出来折射率开离子源是1.8 不开离子源折射率为2.06 但是不开离子源吸收大折射率高1000-1100折射率会高开离子源没吸收但是折射率低充氧没什么问题都试过了试做过TI3O5 机器方面没问题现在在什么情况下折射率会做高而且吸收1000-1100吸收会小

xiaohuilee · 发表于 2014-3-22 08:08:50

最简单的方法就是换膜料用zr ti混合物有可能是离子源的问题你改下离子源参数试试 zr会随着膜厚的增加而增加【折射率】，用离子源可以改变这种情况你说呢

xiaohuilee · 发表于 2014-3-22 08:09:15

最简单的方法就是换膜料用zr ti混合物有可能是离子源的问题你改下离子源参数试试 zr会随着膜厚的增加而增加【折射率】，用离子源可以改变这种情况你说呢

yh65430 · 发表于 2014-3-22 13:35:47

用ZrTi混合物估计不会好吧？

captainH · 发表于 2014-3-24 08:22:00

这个。。。这个工艺很有问题

rollo_tomasi · 发表于 2014-3-24 12:10:05

你镀一个单层的ZrO2试试看，还会不会有这个问题！

HGcoating · 发表于 2014-3-25 10:49:47

可能原因：1、工艺问题
　　　　　2、折射率算法有问题
　　　　　3、材料有问题

李昌瑞 · 发表于 2014-3-25 22:42:54

更换材料是最简单的解决方法了

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