关于sio2

xiaohuilee · 发表于 2014-4-4 19:32:54

最近在做sio2时候用离子源辅助镀膜
可是sio2的折射率却只有1.385
温度 200
离子束流 80
屏压 380
电子束流 100
速率 6A/S
氧气压力控制至3.0E-2pa
本底真空 1.5E-3
氩气8sccm
烦请帮忙分析下原因

大大鸟鸟 · 发表于 2014-4-7 12:55:29

束流是mA吗我们这边是A

xiaohuilee · 发表于 2014-4-7 20:29:09

大大鸟鸟发表于 2014-4-7 12:55
束流是mA吗我们这边是A

你用的是hull的源这个是高束流低能量的呵呵
问题已经解决属于离子源不稳定造成的

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