各位帮忙回答下

zouyou828459 · 发表于 2014-5-9 21:51:15

各位有单独用晶控做监控镀制中心波长在500至600纳米的任一单波长，半带宽的9至11纳米、截止深度为OD3的窄带吗，你们做过的帮忙分享下你们的成果，因为我有个产品就是做种类型，我的产品要求是400至800截止深度OD3，中心波长在500多，半带宽要求10正负二纳米，我这边的机器有IC 晶控仪，但监控SIO2就是速率控制不好，有深冷，没离子源，不知道能不能镀制这么高要求的产品，求各位分析下，另外我这里的日立U-4100分光光度计无论是测透过还是反射，其测量结果不稳定，测一个K9白片的透过时其测量一会儿一会儿低，但都比理论透过高0.5%以上,这种不稳定现象你们遇到过吗？

zouyou828459 · 发表于 2014-5-9 22:13:37

我补充下，窄带的峰值透过率要求60%，我这个机台一直是做AR而没用过TI3O5，这次第一次用就上做这么高难度的窄带，能不能做好还是个问号啊，我想做好材料参数和TI与SI的匹配参数后就分三步走，第一步是用产品的一面去镀制一个截止范围在640~800波长的短波通，再根据这个短波通的光谱结果来分析调整材料匹配参数，第二步就是只上几个产品镀制主膜了，当然如果成功就是最后一步直接上产品镀主膜了，各位牛人帮忙分析下看看还要哪些要注意的地方。

qjy · 发表于 2014-5-10 20:09:20

可以做到的，只是不太容易。多年前我试做过类似的主膜系，结果是半宽度13nm，峰值63%，多花点功夫应该可以做到楼主的目标的（那次我只是做着玩的，也就做了一次）

zouyou828459 · 发表于 2014-5-11 17:15:11

本帖最后由 zouyou828459 于 2014-5-11 17:56 编辑

qjy 发表于 2014-5-10 20:09
可以做到的，只是不太容易。多年前我试做过类似的主膜系，结果是半宽度13nm，峰值63%，多花点功夫应该可以做 ...

我今天做了一炉主膜的试验，半带宽跟设计的一样是10个纳米，但是烦人啊秀过率只有41%，这可怎么办，我要不要把半带宽设计为12，这样镀出来透过率或许能达到所要求的50%呢

zouyou828459 · 发表于 2014-5-11 17:20:24

zouyou828459 发表于 2014-5-11 17:15
我今天做了一炉主膜的试验，半带宽跟设计的一样是10个纳米，但是烦人啊秀过率只有41%，这可怎么办，我要不 ...

我这之前有人做过这类产品，峰值能达到80%，好像他用的是光控膜系再优化，而我用的是两个长短波通叠加法，哪位牛人有类似的此类膜系设计可否一起探讨探讨？

rollo_tomasi · 发表于 2014-5-12 09:13:29

没有离子源，而且用晶控监控Ti3O5和SiO2镀多层介质膜，千万别忘记温飘的问题：也许镀完当天测量波长位置正好，5天后飘长10nm、15nm是很正常的事情！
所以此事千万别冒进，一定要勤测量，一直到膜层吸潮稳定后，波长没有红移后，再确定Tooling值！

rollo_tomasi · 发表于 2014-5-12 09:18:46

这个事情太难，首先晶控就是一个大Bug。先不说随着时间推移波长红移的情况，光是随着机器使用状况的不同，Tooling值也会随着改变，你如果不是对这台机器的Tooling把握很熟悉，我还是劝你不到万不得已，别用晶控做！

zouyou828459 · 发表于 2014-5-12 19:56:48

xiaohuilee 发表于 2014-5-11 20:05
做这样的膜你要是用长波短波叠加更麻烦我试过叠加的首先对机器的稳定性要求特别高而且你的峰值做不太 ...

NO！你理解错了我的意思，我要说的是设计膜系时所用的膜堆是用长短波通组合设计，而不是镀一个长波通和镀一个短波通，我想这样做应该行不能，除非机器很稳定了。

qjy · 发表于 2014-5-12 21:30:39

真的非常非常的佩服加仰视楼主！竟然能够用长短波通的膜系做精度要求这么高的滤光片！真是遇到高手中的高高手了！

zouyou828459 · 发表于 2014-5-12 21:54:54

rollo_tomasi 发表于 2014-5-12 09:13
没有离子源，而且用晶控监控Ti3O5和SiO2镀多层介质膜，千万别忘记温飘的问题：也许镀完当天测量波长位置正好 ...

是啊，我知道，因为我之前的公司就是专业做窄带的，我现在的机台没有那种带冷却水的霍尔类子源，但是有深冷，镀前真空能达到十的负四次方，所以相对来说漂移量没那么大。

zouyou828459 · 发表于 2014-5-12 22:03:07

qjy 发表于 2014-5-12 21:30
真的非常非常的佩服加仰视楼主！竟然能够用长短波通的膜系做精度要求这么高的滤光片！真是遇到高手中的高高 ...

对于窄带膜系设计我懂得不是很多，都是以前学到的一些皮毛现在要用的时候现拿来用呀，我知道论坛的高手很多，所我这个贴出来是请各位一起聊一聊做窄带滤光片的一些话题，拜托就不要挖苦我了。

zouyou828459 · 发表于 2014-5-12 22:18:21

我今天通过修改了材料参数及重新设计了膜系，就是把半带宽设计为12纳米，看了一下该膜系比原先还薄了好多，我又试镀了一炉结果，我的那个激动啊，峰值透过率达到了75%以上，可惜半带宽只12.6了,唉不管怎么说悬着的心终于掉下来，要知道老板今天中午又在催我了，要知道这个产品是他叫别的厂家做坏了再拿回来给我做的，时间就只给我半个月，我每天做增透只有一个班一天平均四炉，还得做这个东东，如果说今天做不出来那我可能就会放弃了，这得感谢我的师父啊，每当有困境时都能从他那找到启发！

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