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薄膜退火

发表于 2004-9-24 00:01:00 | 显示全部楼层 |阅读模式

薄膜退火后起皮脱落了，真是纳闷呀？

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发表于 2004-9-26 02:58:00 | 显示全部楼层

那可能是基底的原因，我在某些晶体上镀单层SiO2时也出现过类似情况

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发表于 2004-9-24 00:22:00 | 显示全部楼层

退火是什么意思？？冷却吗

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发表于 2004-9-24 00:24:00 | 显示全部楼层

在空气中自然冷却？？

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发表于 2004-9-24 03:26:00 | 显示全部楼层

可能是镀膜工艺存在问题，另外退火的温度对于膜层来说是否太高？冷却是否太快？

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楼主| 发表于 2004-9-24 04:25:00 | 显示全部楼层

随炉冷却的，300度不算高，是sio2膜呢

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发表于 2004-9-25 06:26:00 | 显示全部楼层

建議冷卻時間加長，溫度在降低些試試

小小拙見還請指教

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发表于 2004-9-28 00:20:00 | 显示全部楼层

基底材料是否匹配\温度过高\或冷却太快都可能.

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发表于 2004-9-28 00:22:00 | 显示全部楼层

基底材料是否匹配主要有:

晶格匹配和热学参数.

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发表于 2004-9-29 18:54:00 | 显示全部楼层

这种情况下，主要原因是镀膜时造成应力太大而脱膜。

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发表于 2004-9-29 20:51:00 | 显示全部楼层

技术不到家

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发表于 2004-9-29 20:55:00 | 显示全部楼层

呵呵呵呵楼上说的对当然是技术不到家了

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