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[讨论] 国内扩散泵哪家强

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发表于 2015-1-24 22:34:09 | 显示全部楼层 |阅读模式
现在的800镀膜机原装的是一台600的矮泵,抽速不太理想,想换一台600的凸腔泵。国内有沈阳真龙,南光机器,还有兰州真空等扩散泵厂家,群友能否给些建议,哪家扩散泵抽速比较好些?
 楼主| 发表于 2015-1-25 05:55:46 | 显示全部楼层
目前国内的扩散泵泵壳都是碳钢的,但是泵芯有不锈钢和铝的,抽速上有差别么?
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 楼主| 发表于 2015-1-25 10:35:56 | 显示全部楼层
本人手上有一些镀膜资料,希望能够送给踊跃讨论的群友。
有需要的群友请踊跃发表建议!
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 楼主| 发表于 2015-1-25 10:57:56 | 显示全部楼层
需要的群友请将邮箱留下,并请提出扩散泵的建议。我会把资料发送到邮箱里。
资料有1. 2006年9月浙江大学镀膜培训班课件和培训班专题讲座(pdf格式);
2. TFC破解版。
两个选择一个。
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发表于 2015-1-25 12:02:10 | 显示全部楼层
扩散泵抽速与返油量是相关的。
也可考虑分子泵或冷凝泵做替代。一次性投入大,但几年后仅电费一项基本可以收回成本。国内已经有较好的这方面厂家了。
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 楼主| 发表于 2015-1-25 17:33:33 | 显示全部楼层
分子泵的寿命和维护如何?
冷泵每周要再生,而且冷媒漏了很麻烦。
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发表于 2015-1-26 20:38:24 | 显示全部楼层
用低温泵吧 效果好  抽速快
分子泵也好
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发表于 2015-1-26 23:16:35 | 显示全部楼层
都差不多的吧?不如泵口加个深冷,降低返油,提高抽速。
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发表于 2015-1-27 03:15:52 | 显示全部楼层
试试分子泵吧
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发表于 2015-1-27 10:33:46 | 显示全部楼层
x_x_x_f 发表于 2015-1-25 17:33
分子泵的寿命和维护如何?
冷泵每周要再生,而且冷媒漏了很麻烦。

再生是低温泵共同的问题,但再生有几种方法可供选择,12小时生产的企业,再生不会影响你的生产,24小时生产每周需2小时的再生时间,如果生产条件比较好,1个月再生一次也是可以啊。
另外;漏冷媒这个问题,以现在的技术水平及密封效果,应该不会出现,应该不必过多担心,就算出现漏,也是非常好处理。

低温泵比较贵,一次性投入高,这是低温泵弱势,楼主也有顾虑这个方便的原因吧!
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 楼主| 发表于 2015-1-27 11:09:34 | 显示全部楼层
erdan521 发表于 2015-1-27 10:33
再生是低温泵共同的问题,但再生有几种方法可供选择,12小时生产的企业,再生不会影响你的生产,24小时生 ...

成本当然是最大的顾虑。还有就是以前用过低温泵,碰到过几个问题:
1. 做的时候做着做着低温泵突然失效,然后只能紧急再生,影响生产;
2. 当时是24小时运行,每周五再生,影响生产;
3. 漏冷媒。记得低温泵的冷媒是氦气,密封件是直接铜密封,密封完后还要用检漏仪检漏。设备不全的小厂不太好搞。
总体说来扩散泵的稳定性要好很多。
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 楼主| 发表于 2015-1-27 11:12:27 | 显示全部楼层
苏州膜头 发表于 2015-1-26 23:16
都差不多的吧?不如泵口加个深冷,降低返油,提高抽速。

目前没有加深冷。最早设备扩散泵冷阱上有一个氟利昂冷阱,现在坏掉了,不用了。
设备比较小,就800机,想直接用抽速大些的扩散泵硬抽。
膜头兄在苏州哪里?我在苏州吴中区。
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