离子源辅助镀膜时离化氧是什么态

qhbd · 发表于 2004-9-30 19:39:00

电子束镀氧化物薄膜，补氧气、离子源辅助镀膜时氧气离化，请问离化氧是什么状态？原子氧、正氧离子、负氧离子还是其它态？请教各位大侠。盼复

zz · 发表于 2004-10-5 06:11:00

正离子

nanovac1 · 发表于 2004-10-18 15:54:00

看什么离子源，若是栅格式离子源（RF或Kaufman离子源）和带电子中和的霍尔离子源，氧气应是等离子体。单纯正离子在镜片上会有静电效应而引起镀膜质量不稳。若只是起清洗作用，则正氧离子也行。

zz · 发表于 2004-10-18 16:02:00

能否解释一下正离子如何引起静电效应？谢谢！

nanovac1 · 发表于 2004-10-18 16:28:00

单纯正离子会使镀膜工件表面也带正电，如果膜层是绝缘体，往往会起火花。为解决这问题需要加入电子。比如霍尔离子源采用钨丝阴极或空心阴极向粒子流注入电子从而将其中和成等离子体。

wazxq · 发表于 2004-10-18 21:24:00

和膜料撞击的是什么？？

royyang · 发表于 2012-6-25 09:59:24

学习学习