关于镀膜灰尘点的问题求大神解答

xiaohuilee · 发表于 2015-5-27 20:14:35

很久没有遇到这么头痛的问题点了关于机器灰尘点的问题  首先确定不是工艺的问题  做单层确定没有问题  机器所有的地方都完全清理并且用酒精擦拭一遍  在伞的第三四圈有灰尘点尤其第四圈很严重 且灰尘点都出现在套环边缘

机器在40分钟左右进入5.5-4pa  抽速无法更改  在防湍阀设置为抽30分钟，尽量让罗茨泵少抽点时间  防湍阀能进入200pa，罗茨泵仅抽8秒有所改善但是还不行

请问各位大大们有什么办法没有，实在没有办法了，能用的发子都用了，高阀底阀也让其开的比较慢了，跪谢各位大大们了

镀膜工艺为  250° 材料为HFO2 SIO2 两层膜

HGcoating · 发表于 2015-5-28 08:58:08

这个要看你的设备情况才好下结论，重点检查电子枪，均匀性板，膜料，气体，离子源，泵的使用情况

xiaohuilee · 发表于 2015-5-28 10:54:30

HGcoating 发表于 2015-5-28 08:58
这个要看你的设备情况才好下结论，重点检查电子枪，均匀性板，膜料，气体，离子源，泵的使用情况

膜料修正板电子枪都确定过了气体未确认气体应该没有问题吧如若气体不纯不应该主要出现在第四圈且只有套环边缘吧没有李子园现阶段主要怀疑抽速请问还有其他更好的办法吗

WENJINGREN · 发表于 2015-5-28 12:54:55

一、检查基底清洁度、套环洁净度。二、单层没问题就检查膜料，另加热方式。

xiaohuilee · 发表于 2015-5-28 13:36:05

WENJINGREN 发表于 2015-5-28 12:54
一、检查基底清洁度、套环洁净度。二、单层没问题就检查膜料，另加热方式。

加热方式我试过低阀工作加热高阀工作加热两种方式都存在点的状况基地套环都没有问题

WENJINGREN · 发表于 2015-5-28 15:29:18

本帖最后由 WENJINGREN 于 2015-5-28 15:31 编辑

xiaohuilee 发表于 2015-5-28 13:36
加热方式我试过低阀工作加热高阀工作加热两种方式都存在点的状况基地套环都没有问题

是上加热还是下加热，尘点发亮吗

镀膜机操作员 · 发表于 2015-5-31 23:55:34

机器在40分钟左右进入5.5-4pa 这个抽速是不是太快了？确定真空计正常不？

xiaohuilee · 发表于 2015-6-1 20:09:17

镀膜机操作员发表于 2015-5-31 23:55
机器在40分钟左右进入5.5-4pa 这个抽速是不是太快了？确定真空计正常不？

我们用的是低温泵抽速快

xiaohuilee · 发表于 2015-6-1 20:10:10

WENJINGREN 发表于 2015-5-28 15:29
是上加热还是下加热，尘点发亮吗

不是膜料点只有膜料点才发亮是灰尘但是找不到灰尘来的原因

WENJINGREN · 发表于 2015-6-3 10:21:01

xiaohuilee 发表于 2015-6-1 20:10
不是膜料点只有膜料点才发亮是灰尘但是找不到灰尘来的原因

如果是下加热有可能是加热灯产生的

xiaohuilee · 发表于 2015-6-3 21:01:20

WENJINGREN 发表于 2015-6-3 10:21
如果是下加热有可能是加热灯产生的

我们是上烘烤

WENJINGREN · 发表于 2015-6-5 15:22:36

现在问题解决国了吗

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