利用1064+nm皮秒激光加工石英玻璃精密划线工艺研究

update

利用1064 nm皮秒激光加工石英玻璃精密划线工艺研究.pdf (801.64 KB, 下载次数: 3)

2015-7-9 11:15 上传

点击文件名下载附件

作　　者：李勇[1,2] 朱芸[1,2]
LI Yong, ZHU Yun（ 1. Wuhan Vocational College Of Software And Engineering,Wuhan 430074,China; 2. Laser application institute of Wuhan Vocational College Of Software And Engineering, Wuhan 430074, China）
机构地区：[1]武汉软件工程职业学院,武汉430074 [2]武汉软件工程职业学院激光应用技术研究所,武汉430074
出　　处：《激光杂志》 CSCD 2015年第36卷第1期 132-134页,共3页
Laser Journal
摘　　要：对激光精密加石英玻璃切割工艺进行了实验研究,探讨了不同的工艺参数对加工效果的影响。首次使用1064nm皮秒激光器作为光源,对厚度为0.3mm的石英玻璃片进行了激光划线切割。在激光功率20w,占空比60%,频率100kHz,加工速度700mm/s时,获得样品正面崩边11.08um,背面崩边7.610um,侧面粗糙度为4 um 的加工效果。分析了不同工艺参数对样品加工效果的影响,依据实验结果,得到满足实际加工要求的最佳工艺参数。
The processing of laser precision cutting quarts glass has been researched, the processing effects influ-enced by different parameters have been discussed. Use a 1064nm picosecond laser as light source,scribe cutting the quarts glass which thickness is 0. 3mm. Under the laser power 16w,duty ratios 60%,frequence 100kHz,scrbing speed 700mm/s,We get sample which oberse side edge collapse 11. 08um,back side edge collapse 7. 610um and side rough-ness 4um. The processing effects by different parameters have been analyzed, According to the experimental results, the best processing parameters has been given.
关键词：玻璃切割 皮秒激光 工艺研究 工艺参数
Picosecond laser ;Quarts glass cutting rocessing researched rocessing parameters ;