VirtualLab-结构设计和加工导出

骑猪走天涯 · 发表于 2015-7-21 17:18:00

使用VirtualLab可以设计各种衍射光学元件，但如何将设计的衍射光学元件的相位传输转换为可以加工的二元掩膜GDSII文件？本案例介绍了通过使用VirtualLab软件的结构设计，将衍射光学元件的相位传输转换为取样界面，并以GDSII格式导出，从而能够用于加工制作。
相位传输传唤为的取样界面：

kuosj · 发表于 2016-5-3 16:24:56

copland · 发表于 2017-9-26 21:01:19

没搞明白啥玩意，白花了10块大洋！

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