求助：真空镀增强银外反膜

mxb010ak47 · 发表于 2004-10-19 21:44:00

我在镀制银膜的时候，发现镀好的基片在透光情况下有针孔现象，这是为何？如何解决？

另外，还发现镀品在大气中放上三天，表面会起许多小点子，这是什么道理？如何防止？

请各位高手指教

另：

这种现象与镀膜时的真空度、保护层的电子发射速率快慢是否有关系？恒定速率用光控机非自动如何操控？

[此贴子已经被作者于2004-11-9 16:18:41编辑过]

金炯 · 发表于 2004-10-20 03:06:00

银膜有多厚？

可能还没有连续

起小点可能是湿度太大

银会结块的

mxb010ak47 · 发表于 2004-10-20 03:47:00

我是用光控反射法镀的

银膜大约镀制了有10分钟以上，膜厚控制仪的最小值都为0了

另外，你说的银膜结块如何控制？请赐教，谢谢！

flyinlove79111 · 发表于 2004-10-22 06:07:00

出针空也有可能基底没处理好，

在大气中银也容易氧化，特别是空气湿度大的时候

yh15430 · 发表于 2004-10-22 07:32:00

针孔是基片没处理干净,镀膜前基片上有小微粒,故有针孔形成!如加保护在空气中放置几周不成问题!

xiaohe · 发表于 2004-10-25 22:46:00

真空室内配低温捕集器就能解决水分及可凝气体和真空室洁净度不高的问题.我公司是做低温捕集器的,请与我联系.0551-5329195何生.或登陆网站www.fanghuicryo.com

lavajydm · 发表于 2004-10-26 04:18:00

你用这方法不行！先用干净的去离子水洗你的片子！（前提是你已经做了清洗了，然后用纯净的氮气吹干，在用烘箱烘干）这样你的表面就不有针孔了啊！还有就是你的真空的设置的参数是不是对了！看看吧！

mxb010ak47 · 发表于 2004-10-27 03:06:00

谢谢诸位高手指点！

mxb010ak47 · 发表于 2004-11-10 00:35:00

我使用的是成都南光700型，单枪单电源，光控

我跟老板建议添置去离子水设备，再更新冷阱，老板嫌贵，没同意，因此各位的方法无法试验

请教各位高人，还有没有其它方法。

laoman · 发表于 2004-11-11 02:23:00

基片清擦有问题，有残留的脏点会使都膜后形成针孔。表面疵病中有针孔一项，有也行，只要符合要求。放几天后形成小点是因为膜层变质。保护膜镀的不好。

mxb010ak47 · 发表于 2004-11-11 19:03:00

人为控制怎样得到一个较好的保护膜？

制备增强银膜时，温度和真空度是否有要求？

我制备的时候，采用不加温冷镀，起始真空度在6.8E-3pa开始蒸发材料

mxb010ak47 · 发表于 2004-11-11 19:22:00

SiO2保护膜我镀了8L，应该很厚了，清擦人员有6年的清擦经验了，我分析还是镀膜工艺上的问题，试了很多解决方法，效果还是不太理想。

谢谢你！