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求助：pecvd法在硅片上长出来的si3n4是单晶还是多晶呀？

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ditto
发表于 2004-10-24 08:14:00 | 显示全部楼层 |阅读模式

求助：pecvd法在硅片上长出来的si3n4是单晶还是多晶呀？
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eagle1
发表于 2004-11-3 22:34:00 | 显示全部楼层

肯定不是单晶，可能是非晶和多晶。

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zzf-1
发表于 2005-2-4 21:36:00 | 显示全部楼层

回复：（ditto）求助：pecvd法在硅片上长出来的si3n4是...

生长的SiO2或者SiN介质薄膜本来就不是晶体形式存在的，不需要讨论。

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