[求助]有关膜系问题求助高手！！！

kingspc · 发表于 2004-10-26 21:35:00

请问要在InP基片上用电子枪蒸镀出反射率90%和95%的介质膜，现有Al2O3，Si，SiO2和TiO2四种材料，要求8层以下，最好4-6层，我应该怎样选择材料和排系？谢谢高手大哥大姐了。

kingspc · 发表于 2004-10-27 00:00:00

有谁能帮忙回答一下？万分感谢！！

x_x_x_f · 发表于 2004-10-29 00:29:00

InP基片的折射率多少？

kingspc · 发表于 2004-11-1 21:51:00

InP基片的折射率为3.2，谢谢！波长在1310nm正负50的宽度。

tangjindao · 发表于 2004-11-5 00:28:00

使用TIO2 各 SIO2交替镀试试看

ttl · 发表于 2004-11-5 23:57:00

如果你镀Si没问题的话，可以考虑下Si和SiO2：(HL)^2 @1310nm

kingspc · 发表于 2004-11-10 21:45:00

谢谢！90%的膜我已经用Al2O3和Si ：（LH）*2实现

请教95%以上的膜系，材料和条件还是1楼说的那些。反射率越高越好，谢谢帮忙！

sanma · 发表于 2004-11-11 06:35:00

请问如何镀si，我用过si，折射率很低，在2.6左右，镀时有时还会爆炸，溅得满真空室都是

kingspc · 发表于 2004-11-12 22:03:00

si的折射率是3.4啊,镀的时候先充分预熔,根据电子枪的功率加适量的si,不要加的太多,就不会爆了.

ttl · 发表于 2004-11-12 23:09:00

既然你可以把Si镀在最外面，你用Sio2和Si: (LH)^3应该99% 左右。　用Al2o3和Si，(LH)^3反射率虽然低些，但应该也能满足你的要求呀。