用电子枪镀TiO2时，出现异常！大家来看看

x_x_x_f

在镀Al2O3的时候，电子枪报警，电子枪打不开；但打开机器灯丝没有问题，大家碰到过这种情况没有？

zz

镀单层吗?还是过程中?

电子枪抱啥警?

sanma

我也出现过此情况，我觉是束流太大了

xiaozhou

这位老兄，请你检查电子枪灯丝或者电子枪高压接线部分接触位置是否未能接触好。我也曾经遇到过类似的情况。

帅的按不住

离子枪冲氧的问题......韩国人也修过.但没修好

flyinlove79111

把电子枪拆了清洗一下，太脏了也会 出现这种情况

sam1900

东莞阿斯创成立于二零零二年。公司以经营精密光学加工所用镀膜耗材、研磨耗材、镀膜机耗材、配件。公司致力于帮助客户解决各类型镀膜耗材的及时供应，以最全面的、最完整的各类型日本、韩国、德国、美国、中国材料大型仓储来填补市场供求过慢状况，形成目前华东、华南等地区市场最大、最快的供货平台。且公司具有市场最专业的镀膜技术人员，准确、有效的帮助客户解决生产、研发中所需的一切可靠性技术参数及材料的正确使用，给予您最佳的技术建议与指导。公司的主营产品如下：
一．镀膜材料系列
a．  澳大利亚•沈阳阿斯创公司所生产的各种规格MgF2、Al2O3、SiO、SiO2、TiO、TiO2、Ti3O5、Ti2O3、Ta2O5、ZrO2、HfO2、Cr粒、钨铰丝等；及离子溅射所用各类型耙材，以上产品以国际标准规格为准，也可按贵司所需求规格按单生产。
b．  日本KOUHATSU（浩发）、日本OPTRON公司所生产的各种规格的MgF2、Al2O3、SiO、SiO2、TiO、TiO2 、Ti3O5、Ti2O3、Ta2O5、ZrO2、HfO2、OH-5、OS-50等系列镀膜耗材。
c．  德国默克公司所生产的各种规格型号的MgF2、Al2O3、SiO、SiO2、TiO、TiO2 、TiOS、Ti2O3、Ta2O5、ZrO2、H4、H2、等系列镀膜耗材。
d．  韩国DOW公司所生产的MgF2、Al2O3、SiO、SiO2、TiO、TiO2 、Ti2O3、Ta2O5、ZrO2等系列镀膜耗材，及其它一些品牌镀膜材料。
二．研磨材料系列
a．  美国环球LP系列及日本KSP系列各种聚胺脂抛光垫，可提供开槽、穿孔等专业服务。
b．  日本HAT、日本不二见材料COMPOL、POIPLA等系列抛光粉及抛光液，研磨粉。
c．  日本产金刚石丸片、总型，电木及国产金刚石丸片、总型。
三．镀膜机耗材
a．  日本产电子枪灯丝
b．  日本产及国产钨舟、钼舟、钛舟，等
c．  美国产、日本产（5、6MHZ）晶振片
d．  进口材质各种规格测控片，专业打孔
四．技术服务
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lubin

请问楼主用的什么机器？

dzk999

13楼
在镀Al2O3的时候，电子枪报警，电子枪打不开；但打开机器灯丝没有问题，大家碰到过这种情况没有？
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是不是设定的功率保护值太低了？

zz

灯丝会亮吗?电子枪报警提示是啥?

x_x_x_f

镀的是3曾膜的第一层Al2O3，应该没有设置功率保护值，以前也是用这样的功率镀的。警报是：    EB On check error。报警时灯丝没有亮。怀疑是灯丝劣化了，但仔细观察灯丝没有问题。换了新的灯丝就好了。
这个情况在一机台上发生过多次，在其他机台上很少发生。
另外，我们的EB比较脏，会不会是接触上的问题？