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[求助]关于多层膜的镀制

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发表于 2004-11-12 00:02:00 | 显示全部楼层 |阅读模式

用Al2O3和TiO2做LH材料

在衬底上分别镀单层膜,从反射谱看峰值波长为所需波长,表明厚度控制合适。

然后镀(LH)4后,却发现峰值波长偏了很多。

是因为一个坩锅里材料镀几次,导致后几层的实际厚度发生变化?还是其他什么问题?

另:镀完一层换材料镀下一层时,间隔时间长短有多大影响?多长合适呢?

 楼主| 发表于 2004-11-18 16:45:00 | 显示全部楼层

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