求教购买平面度仪

icewater

各位高手，本人想购买一台用于测试晶片的平面度检测仪，可以测4英寸以上的，请大家介绍几款性价比比较好的平面度仪，谢谢！！！

jackonlee

我也想知道

jackonlee

两个面怎么测平面度？？？

stevenwu

我公司代理有美国的干涉仪，可以与我联系：021－54071828－705

或steven@infotek.com.cn

可以测量4英寸以上的，精度到1/20波长

JetLee

可以联系南京理工大学电子工程于光电技术学院 陈磊教授，何勇副教授

那边是中国光学测试会专业委员会，有各种髙性价比的干涉仪

电话 025-84315427

jimwang999

求到了么?bj /

jim

xyqy

以下是引用icewater在2004-11-22 22:39:55的发言：

各位高手，本人想购买一台用于测试晶片的平面度检测仪，可以测4英寸以上的，请大家介绍几款性价比比较好的平面度仪，谢谢！！！

平面度检测仪？平面度仪？

不就是平面干涉仪嘛！

口径100以上的平面干涉仪就可以了。

国内应该也有几个做的厂家吧。

当然用进口的也可以，不过，似乎没有必要。

84262030

您好！我在光电论坛上看到您对我们的AK系列干涉仪感兴趣，所以我想了解下您的具体应用，这样才好给您报价。

   AK系列干涉仪共有两种型号，分别为AK-40(口径40mm)和AK-100(口径100mm)，主要为口径的区别，口径大的当然价格会贵。您平时测量需要的口径是多大？

   您用干涉仪是测平面的还是测球面的？如果是只测平面的，仪器整体比较简单，性价比高。如果需要测球面的，仪器的整体支架会加装导轨，所配的镜头也会多一些，价格比只测平面的高，测球面的干涉仪也可以用来测平面。

   另外，还有很多镜头可根据需要进行选择，比如不同R度的镜头，反射镜（用来测量平片的波前），等等。



下面给您报下采用标准配置的整套干涉仪的价格：

(1)     AK100平面测量系统：AK100平面總成+ 4" 平面穿透標準鏡頭+ AK100有調焦，    $24200

                                                             相位頭 + 軟體，    $16130



(2)     AK40 平面量測系統：AK40 平面總成+ 1.5" 平面穿透標準鏡頭+ AK40 干涉儀本體，$13620

                                                             相位頭 + 軟體，    $12910



(3)     AK40 球面量測系統：球面總成(下看型)+ 1.5" F/2.0 球面穿透標準鏡頭+ AK40 干涉儀本體， $20000

                                                                    相位頭 + 軟體，    $12910



我们这边提供售后培训和维护等服务，您也可以来我们这边现场看仪器。