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[求助]如何解决同一圈吃药不均匀?谢谢!

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发表于 2004-11-29 00:31:00 | 显示全部楼层 |阅读模式

各位都是本人的老师了,在下想了解一下,(1)如何可以做出,吃药均匀,性能良好的叶片呢?

我所说的是4个叶片的!

(2)如何解决架子同一圈吃药偏大的问题呢?(一个是架子本身变形的话也会偏,除此之外呢?)

{机器是MARS,直径为1200的}

发表于 2004-11-29 16:25:00 | 显示全部楼层
修正板慢慢的修!
 楼主| 发表于 2004-11-30 18:43:00 | 显示全部楼层

倒~兄台,我也知道得慢慢修这个东西不是一天两天就能修好的~

你倒给个办法啊!

发表于 2004-12-1 22:20:00 | 显示全部楼层

公式有一个,我也只是知道,具体如何用我还不太明白!你可以问一下这方面高手!

发表于 2004-12-1 23:46:00 | 显示全部楼层
同一圈不好,转速是否合适?
发表于 2004-12-4 06:55:00 | 显示全部楼层

均匀性不好的原因很多,比如转速.烘烤温度的均匀性.使用的材料等,解决的办法:1.移动电子枪的位置2.作均匀性挡板

都不是一下子能做好的,耐心一点:)

 楼主| 发表于 2004-12-10 01:14:00 | 显示全部楼层

转速:真空速为13RPM,镀膜速为16RPM

电子枪移动??

我们的电子枪是固定的啊!

我们的架子用了四年了,有一定的变形!

还有没有别的原因会使吃药不均匀呢?谢谢!

发表于 2004-12-10 22:53:00 | 显示全部楼层

电子枪是固定的?!你们用的是什么机器?架子变形肯定影响均匀性,把架子整整形,也许有点用

 楼主| 发表于 2004-12-11 22:37:00 | 显示全部楼层

有修整架子的办法吗?

发表于 2005-3-15 08:18:00 | 显示全部楼层
同一圈吃药偏大基本可以通过补正板修正,做几次单层膜去试吧!
发表于 2005-3-15 16:03:00 | 显示全部楼层
同一圈吃咬不均通过MASK很难解决,我看首要问题是得把你的架子和盘子修好,另外的看看转动是否平稳;当这些前提都正常后再试着提高转速.
发表于 2005-3-18 05:44:00 | 显示全部楼层

同意楼上的说法。MASK能解决不同圈吃药不均,对同一圈吃药不均效果不大吧。看看架子在高速转动下是不是偏离水平面太多了。

请问:4楼的Leesnow 朋友,你说的修正板的公式是什么?能交流一下么

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