请教镀膜SiO2

flyinlove79111 · 发表于 2005-6-28 20:40:00

基底温度对SiO2成膜影响不大,SiO2冷镀都可以.可能是基底没有处理干净或者反油,还有就是真空度没有达到.不知道你是在什么基底上镀的,和基底结合不牢也有可能,不过可能性不会太大.

snebur · 发表于 2005-7-7 06:10:00

这是不难的问题！提高真空度，调整蒸发速率！以及基板温度的适当选择均可以消除附着力差的问题！
试一下吧，兄弟！

zz · 发表于 2005-7-7 15:45:00

楼主都不发言了,是否已经发现问题并解决问题了?

zjtzzy · 发表于 2005-7-6 17:04:00

基片是什么材料？如果基片材料没有问题，则可能是镀膜机返油或基片上没洗干净。

snebur · 发表于 2005-7-11 22:50:00

基底的温度在250时表面活性最大.镀膜机返油或基片上没洗干净也应该予以考虑！

snebur · 发表于 2005-7-11 22:55:00

基底没有处理干净或者反油，

温度也很重要！温度选择适当！

经济学的故事 · 发表于 2005-7-13 00:59:00

ＴＥＭＰＥＲＡＴＵＲＥ、ＰＲＥＳＳＵＲＥ、ＲＡＴＥ、ＩＯＮ　ＳＯＵＲＣＥ、ＧＬＡＳＳ　ＣＬＥＡＮＩＮＧ、ＶＡＣＵＵＭ　ＤＥＧＲＥＥ、ＦＩＬＭ　ＣＯＴＥＲ　ＭＡＣＨＩＮＥ　ＣＬＥＡＮＩＮＧ

feiying · 发表于 2005-7-16 05:44:00

19楼的兄弟基本上把所有因素都列举出来了呀！
在下想问一下SiO2用多大的蒸镀速率最合适？

经济学的故事 · 发表于 2005-7-18 01:35:00

不好说，根据你的镀膜机器，看你蒸镀条件（开始蒸度真空度，充气体否，有无离子辅助等）。

mingdu · 发表于 2005-7-22 22:15:00

你说的现象是明显是附着力不好，通常造成的原因有：清洗工序有问题，本底真空度不够高；真空泵返油而污染腔体真空；靶材质量；工艺真空度不稳定；你采用的沉积方式等诸多原因。单从工艺角度说，采用中频电源磁控溅射的方法沉积SiO2的效果较好。

captainH · 发表于 2005-7-27 19:27:00

他都没把他们具体怎么镀膜说明白，怎么能找的出来原因嘛，实际上脱膜的原因有很多。
找问题也要从实际工作出发哦。

零点910 · 发表于 2005-12-23 05:28:00

有几种可能：1。温度不够；2，真空度不够；3，基板不干净

回复：（renajin）请教镀膜SiO2