请教镀膜SiO2

2614162 · 发表于 2005-12-23 18:43:00

[B]以下是引用[I]captainH[/I]在2005-7-27 11:27:00的发言：[/B][BR]他都没把他们具体怎么镀膜说明白，怎么能找的出来原因嘛，实际上脱膜的原因有很多。
找问题也要从实际工作出发哦。

你有空也教教我如何解决！

yama · 发表于 2006-5-26 03:09:00

也来做个试验,不错的小问题

supplier · 发表于 2006-5-27 06:42:00

镀前用离子源把待镀片表面打热,60-65毫安,7-8分钟.其实用离子源辅助应该不会掉膜.真空度按你们以前正常工艺来不会有问题.搞不好就是扩散泵返油了,一返油不管咋镀绝对掉膜.

flashzhang · 发表于 2006-6-4 06:14:00

对成膜来说，影响最大的肯定是基板温度。温度对活度的影响是平方级别的

cchingoo · 发表于 2006-7-16 00:56:00

楼主都不发言了,是否已经发现问题并解决问题了?

零点910 · 发表于 2006-12-19 17:59:00

真空度，基板温度，基板清洁度，成膜速率都有关系