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镀BBO时出现整面的很细的亮路

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发表于 2004-12-8 07:37:00 | 显示全部楼层 |阅读模式

最近镀BBO晶体,只镀一层HFO2(400埃),后拿出来发现整面都有很细的亮路,

大家一起讨论一下可能引起的原因,

发表于 2004-12-14 01:33:00 | 显示全部楼层
如果没有说错电话应该是应力引起的膜裂
发表于 2004-12-8 22:12:00 | 显示全部楼层
不匹配
发表于 2004-12-9 16:39:00 | 显示全部楼层
擦试的问题
发表于 2004-12-9 20:04:00 | 显示全部楼层
切割角度为多少? 镀膜时温度多少?  我想擦的时候不至于看不见吧?     
 楼主| 发表于 2004-12-10 08:48:00 | 显示全部楼层

镀前擦拭时是看不见的,镀完后也看不见,可是镀完擦拭就出现细亮路了,

起初也是怀疑是擦拭,可用力擦拭那些细亮路都不会变多或变粗,膜的牢固也很好,

真是头痛,大家帮忙想想办法吧,

发表于 2004-12-10 18:35:00 | 显示全部楼层
有亮路还说牢固度好,用橡皮头擦擦,还行吗?
 楼主| 发表于 2004-12-11 07:37:00 | 显示全部楼层

用强力白胶带粘过,膜的牢固却实很好,

奇怪的是,镀厚后细亮路就没了,

发表于 2004-12-13 05:22:00 | 显示全部楼层

有没有用离子原啊

发表于 2004-12-13 20:47:00 | 显示全部楼层

排除了擦拭的原因了吗?

不会吧? 切割角度?烘烤的升温情况如何?降温如何?镀膜时速率如何?镀膜时束流多大?

发表于 2004-12-14 20:07:00 | 显示全部楼层

顶!

发表于 2004-12-15 23:52:00 | 显示全部楼层
啥?镀厚亮路就消失了?现象重复吗?
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