最近镀BBO晶体,只镀一层HFO2(400埃),后拿出来发现整面都有很细的亮路,
大家一起讨论一下可能引起的原因,
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镀前擦拭时是看不见的,镀完后也看不见,可是镀完擦拭就出现细亮路了,
起初也是怀疑是擦拭,可用力擦拭那些细亮路都不会变多或变粗,膜的牢固也很好,
真是头痛,大家帮忙想想办法吧,
用强力白胶带粘过,膜的牢固却实很好,
奇怪的是,镀厚后细亮路就没了,
有没有用离子原啊
排除了擦拭的原因了吗?
不会吧? 切割角度?烘烤的升温情况如何?降温如何?镀膜时速率如何?镀膜时束流多大?
顶!
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