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关于optorun 设备论谈

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发表于 2004-12-9 03:29:00 | 显示全部楼层 |阅读模式
请大家敞开心扉开始论谈!
 楼主| 发表于 2004-12-9 03:30:00 | 显示全部楼层
先从TOOLING开始?
 楼主| 发表于 2004-12-9 03:36:00 | 显示全部楼层

tooling就是监控水晶片与基片间的膜厚比值吗?

此系数用来修正监控片与基片间由于距离不同引起的厚度误差!

也可在各种参数相同的条件下多做几个peak,

发表于 2004-12-9 21:27:00 | 显示全部楼层
是OTFC吗,OTFC用什么灯泡做光源??
发表于 2004-12-11 21:48:00 | 显示全部楼层
OTFC是高稳定性的卤素灯泡,配合单色仪/锁相放大器等使用.
发表于 2004-12-11 22:20:00 | 显示全部楼层
卤素灯泡的电压和功率是多少?可否告知?
发表于 2004-12-11 22:30:00 | 显示全部楼层

还有就是如何说它是高稳定性的,有具体的参数和指标吗?它的工作使用寿命时间是多少?请告知,谢.

发表于 2004-12-11 22:36:00 | 显示全部楼层

可以告知一些关于光驰Optical Thin Film Coater 的Ion Source的内容吗?

 楼主| 发表于 2004-12-13 01:16:00 | 显示全部楼层
12V at present   current is about 8A.
 楼主| 发表于 2004-12-16 05:57:00 | 显示全部楼层
MgF2镀制时蒸发速率很不稳定。设定为:8A/S。请问有什么高招?谢谢!
发表于 2004-12-16 06:09:00 | 显示全部楼层
主要是PID设置有问题
发表于 2005-2-23 22:12:00 | 显示全部楼层

看用的是什莫厂家的材料?

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