Al2O3的蒸镀

x_x_x_f · 发表于 2004-12-23 06:27:00

机器电子枪坏掉过一段时间，最近修好了。但是蒸Al2O3的时候速度特别慢，而且折射率也低了好多的。原本可以达到1.64,现在只有1.60,甚至还有1.57出现的。蒸镀电流并没有变化。为什么呢？

zz · 发表于 2004-12-23 19:00:00

速率差太多了吧

snebur · 发表于 2004-12-23 21:14:00

不知您的材料预融与否！首先充氧情况的变化。电子枪扫描光斑大小！蒸发速率的改变！进口枪还是国产的枪？还要注意点是晶控是否准确？蒸发过程中的RATE是否稳定！

x_x_x_f · 发表于 2004-12-27 05:28:00

谢谢楼上的大虾！我想弄明白为什么会这样的？

预融，充氧量和以前一样的，没有变化；

电子枪是日本电子的，用的光控

倒是光斑似乎变大了些。

光斑大小会怎样影响蒸发速率呢？

cjjiang · 发表于 2004-12-27 16:55:00

你的电子枪的钨丝是不是比以前长了？

光斑大了以后，相同的能量被分布到更大面积上，那么在单位面积上接受到的能量就小了

我想可能是能量不够，导致膜不够致密所致。

nanovac1 · 发表于 2004-12-27 18:08:00

可能要考虑更换电子枪了。我们独家销售的Ferrotec德国公司的电子枪光斑非常小。性能好，而且厂家在杭州有维修点，维护方便。价格也较同类产品优惠些。请联系

021-27977643（宓小姐）

wuming791025 · 发表于 2004-12-28 04:52:00

电子枪光斑大小你可以调整，控制点在你输出电压和电流显示附近。加长予融时间，最好是在欲融的时候可以看到速率，那才表示羽绒充分

yakochen · 发表于 2004-12-28 22:17:00

或许把枪灯丝的高度调一下就能恢复以前的沉积速率，从而保证较高的折射率哈。