关于ITO蒸镀的问题

breadzhu · 发表于 2016-8-31 10:33:58

请问是否能低温蒸镀ITO，现在因为基材的问题不能加太高温度，用离子镀的效果不太好

dagege · 发表于 2016-8-31 19:10:16

同问，有用过的大虾请不吝赐教

coaterxf · 发表于 2016-9-25 22:22:50

可以。
电子枪蒸发，速率1.5A/S左右，控制好离子源的氧气流量，膜厚20nm左右。

良哥 · 发表于 2017-1-12 18:43:10

温度和氧气浓度对ITO影响很大，主要看你什么样的要求，如果蒸发机镀，温度不够高的话，又要求低阻值，问题较大

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