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请问IC5设备的膜厚问题

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发表于 2004-12-30 21:44:00 | 显示全部楼层 |阅读模式
IC5里面的膜厚如何输入？还有在PROCESS下输入的数据和膜厚有什么关系？？我现在知道输入的一组参数类似与膜厚但不是，一个5层的，2548 ，310，112，800，800，如何转换成膜系结构
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 楼主| 发表于 2005-1-5 18:17:00 | 显示全部楼层
没有人愿意帮助我吗？？斑竹求救呀
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