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发表于 2005-3-15 04:22:00 | 显示全部楼层 |阅读模式

请问高人:

在波长为190纳米处,入射角为45度,在基片上镀铝能否实现反射率为60%?在铝膜外镀MgF2作为保护膜可以么?

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发表于 2005-3-15 05:46:00 | 显示全部楼层
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发表于 2005-3-15 08:12:00 | 显示全部楼层

铝膜外最好镀Sio2 作为保护膜!MgF2容易潮解。暴露于空气中不稳定。Sio2作为保护膜可能较好!

发表于 2005-3-15 16:04:00 | 显示全部楼层
SIO2在190NM处不能用.
发表于 2005-3-19 06:35:00 | 显示全部楼层

为什么二氧化硅在190nm不能用

发表于 2005-3-19 09:23:00 | 显示全部楼层
Sio2可以用啊,我们都做过了,效果不错
发表于 2005-3-20 00:00:00 | 显示全部楼层
SiO2应该不行吧,没做过,
发表于 2005-3-20 00:02:00 | 显示全部楼层
紫外光用膜系软件模拟意义不大,6楼 做出来后又没有产品的测试数据
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