坛子里有没有作磁控溅射镀膜的

valle · 发表于 2006-2-16 00:18:00

美國的除了VEECO外還有什么呀?

nittohai · 发表于 2006-2-16 17:09:00

目前生产磁控溅射镀膜机做光学薄膜的厂家有日本的新科龙，美国的Veeco和德国的莱宝等几个厂家，我现在用的机器是自己研制的，和德国莱宝一款溅射设备相似。由于是自己研制的，所以对机器的构造，靶的工作模式等有深刻的理解和认识。为了改进工艺，我们曾以买机器为由，同以上几家公司多次交流，了解他们的设备及工艺。现在我们公司的镀膜机器在沉积速率、产能、稳定性和产品难度等方面综合来看，与他们的机器相比不分上下，只是各自的优缺点不同。

huweiqian · 发表于 2006-2-16 21:02:00

回４９楼：VON ARDENNE公司目前在国内的设备主要用于大面积玻璃镀膜上面，如南玻等，现在在薄膜太阳能电池方面也在开拓市场（由于在欧美日拿到了很多定单）．另该公司给ＺＥＩＳＳ公司提供过一个小的生产设备（相对大面积），用于做Ａg反射镜，主要的膜层结构为Ｇ＋SiOxNy+Ag+ZAO+SiO2+TiO2+SiO2+TiO2.对于磁控溅射做光学膜，现在知名度最高的ＳＨＩＮＣＲＯＮ的ＲＡＳ系列，还有一家是英国的Applied Multilayer公司．采用ＣＦＭ技术（原来用于Hard coating）．

huweiqian · 发表于 2006-2-16 21:04:00

５１楼的是不是中南集团底下的一个公司，precisonoptic还是哪家啊？

huweiqian · 发表于 2006-2-16 21:08:00

宇轩，您好．

你用过磁控溅射做光学膜吗？请问你是哪的？我现在有个朋友担心Shincron的ＲＡＳ设备做出来的光洁度不好，想请教一下．欢迎联系，０２１－６４８５１２７２－１４５或huweiqian2006@163.com

wra · 发表于 2006-2-17 05:34:00

Shincron的Ras设备做出来的东西光洁度看起来好像还可以哦。

huweiqian · 发表于 2006-2-17 19:02:00

请问楼上知不知道用ＲＡＳ做ＩＲ　ＣＵＴ的光洁度能不能达到２０um的标准？

wra · 发表于 2006-2-18 07:47:00

对于光洁度具体能达到多少到是没有注意过，也没有做过专门的检测。不过用RAS镀出来的UV-IR和Colorwheel等在强光灯下看起来膜层都是非常清澈的，个人感觉上应该是可以达到２０um的标准的，到底是不是我得再查查。

gj19820913 · 发表于 2006-2-18 08:42:00

我也是做磁控溅射的,虽然我参加工作没多久,但是我觉得他虽然有一定的局限性,比如非平面镀膜就很少用到.我们用的是OCS也就是Optical Coating System.我觉得这样的设备很好,我们做的产品就是color wheel以及WDM\DWDM.

huweiqian · 发表于 2006-2-25 00:38:00

多谢５７楼，您现在有没有在用ＲＡＳ做ＩＲ　ＣＵ呢？现在有没有确认是否可以达到２０um的要求？谢谢．

楼阁情丝雨 · 发表于 2006-3-2 05:53:00

有兴趣可以聊聊,我公司就是使用磁控溅射的设备,日本ulvac和美国afc的设备.

huweiqian · 发表于 2006-3-3 20:43:00

楼上做的是大面积镀膜吧？

坛子里有没有作磁控溅射镀膜的

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