楼主: 风之炫彩

坛子里有没有作磁控溅射镀膜的

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发表于 2007-1-19 17:55:00 | 显示全部楼层

我在做磁共溅射靶的设计

发表于 2007-3-9 05:30:00 | 显示全部楼层
我们公司有两台新科隆的,一台就是RAS系列的,做的产品光洁度不错,应该可以达到20um.
发表于 2007-3-23 18:30:00 | 显示全部楼层

光学镀膜设备

种类:眼睛架磁控溅射镀膜机/眼睛片/光学元件镀膜机.全自动超声波清洗机/加硬机

应用范围

主要用于镀制增透膜.带通膜和截止膜等各种膜系,能够实现100层膜的超大型膜系镀膜,也能满足在树脂镜片上镀制各种颜色的增透膜以及在太阳镜片上镀制红...绿等颜色的反光膜,还适用于装饰品的金属镀膜.
结构特点
1.
配置电子束蒸发及电阻蒸发系统.
2.
配置大坩埚电子枪(韩国180/德国270),整个蒸发过程中膜料表面平整,蒸发分布均匀.
3.
配置膜厚控制仪(MDC-360/IC-5)可实现成膜速度和镀膜过程的自动控制.
4.
配置大功率霍尔离子源,膜厚质量好.
5.
总体结构设计合理,更符合工艺的要求,中英文版触摸屏和真空系统PLC自动控制,操作简单.方便.

销售负责人:先生
H.P: 13912820116
E-MAIL
MSN: ZH_XINYUAN68@163.COM
公司名称: 镇江三维真空光学(韩资)

发表于 2007-3-24 04:31:00 | 显示全部楼层

日本RAS是2仓,最NB的现在好象有3仓了,镀制1000NM厚大概需要1小时,镀AR膜到是不太快,你想知道什么我可能告诉你一些,我也不太懂,只是我能接触到RAS设备,只是喷铝的防护板要发往日本处理,脏点问题不知道怎么解决

发表于 2007-4-13 01:10:00 | 显示全部楼层

请问各位,磁控溅射镀膜有没有用于 激光薄膜,qq 156491140

 楼主| 发表于 2007-4-18 08:14:00 | 显示全部楼层
很久没有上这个论坛了,居然还能看到自己发的帖子。我们公司现在用的是ULVAC的设备。

发表于 2007-4-18 23:37:00 | 显示全部楼层

楼上的,ULVAC也有镀膜设备在生产吗?

我是用RAS的,只知道SHINCRON的泵大多是ULVAC的

RAS要做到20um的水平还是有点困难的,对维护的水平要求非常高.同时对基板处理要求很高,普通光学玻璃经常会出现大批量的表面问题.

发表于 2007-5-15 03:28:00 | 显示全部楼层

谢谢!辛苦了

磁控溅射镀膜由于精度不如离子镀膜,所以光学上很少用

发表于 2007-5-15 04:53:00 | 显示全部楼层

现在RAS用在光学镀膜上不是已经很多了嘛.我想ULVAC的磁控溅射没有用在高精度光学镀膜上的,而显示,半导体领域用的应该很多.

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