各位大侠知道什么公司出这套系统,哪种性价比不错?
我是新手,多谢指导。thx~
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我不清楚你的波段是在哪个范围的。
据我了解,日本OPTORUN公司有他们自己开发的膜厚监控系统HOM系列,但不知道是否能满足您的需求。具体你可以联系OPTORUN(上海)有限公司的陆克年先生 021-36161290
我公司利方达真空技术深圳公司专业代理美国telemark公司的OM820全光谱光学膜厚控制仪。该光控今年在广东地区就已经上了4套,使用的效果非常不错。
主要特性: • 200~900nm全光谱分析:对监控基片的透射和反射进行全光谱分析; • 多膜层终点设定:可设定每一膜层的终点; • 沉积过程实时分析:当真空室内材料发生变化,其对应的光谱变化可以反映出来; • 可选的离线测量功能; • 等离子体诊断。 性能参数: 光谱范围 450~850nm(卤素灯光源),200~900nm(氘灯光源) 灵敏度 2200光量子@600nm 响应 4.5×10-4库仑/焦耳/cm2 暗电流 2微微安 准确度/稳定性 全量程≤0.2% 最短信号获取时间 50毫秒
如需更详细的资料,请联系:0755-26066939,13077864087 简俊勇先生
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