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关于pecvd镀膜

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发表于 2005-4-4 02:26:00 | 显示全部楼层 |阅读模式
关于pecvd镀膜的厚度、折射率、致密性与工作气流量、工作温度、工作气压即功率之间的关系？   请哪位高手指点一下！谢谢！
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发表于 2005-4-20 18:24:00 | 显示全部楼层
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[ 本帖最后由 strongsavage 于 2008-9-3 08:59 编辑 ]
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