楼主: milo

请问镀硅用什么坩埚好?

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发表于 2005-8-29 17:06:00 | 显示全部楼层
它熔点高,如何热蒸发???????????????
楼楼上说的氧化铜可能就是无氧铜
发表于 2005-8-31 00:52:00 | 显示全部楼层
无氧铜坩埚。
氧化铜坩埚是什么东东?
发表于 2005-8-31 06:27:00 | 显示全部楼层
用石墨坩埚不错,不会喷溅-------为什么
发表于 2005-8-31 06:42:00 | 显示全部楼层
我们用的是石墨坩埚,不太清楚为啥一定要用他,不过这种坩埚电流加的稍不均匀就合开裂,整锅产品就会没了。
发表于 2005-9-1 04:59:00 | 显示全部楼层
须用无氧铜坩锅,他不会放气。真空下稳定,导热性很好。
发表于 2005-9-13 22:41:00 | 显示全部楼层
偶用的也是无氧铜坩埚,感觉不错.
发表于 2005-9-13 23:41:00 | 显示全部楼层
不用特意用坩埚,比如说用电子束蒸发的话直接放进坩埚就行了。
发表于 2005-9-14 04:58:00 | 显示全部楼层
石墨不错!!
就是控制上有难度!!
一旦掌握,就可以得到稳定的速率。
无氧铜也可以。
发表于 2012-6-25 14:15:38 | 显示全部楼层
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