大的晶體有優勢?是指質量?或成本?
若應用在LED 外延片,只要2吋就夠了啊...不懂為何要長到直徑200mm..
若應用在 dome 當然大一點的好.
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12吋的晶圓, wafer 是12吋
8吋 sapphire, wafer 還是 2吋, 因為下游MOCVD量產設備都是for 2 inch wafer
長出8 inch sapphire 還是得加工成 2 inch wafer,
這樣成本會比較低嗎? 還是不大懂
对于俄罗斯的泡生法,是这样的;
其他工艺不做评论。。。。。。
Saint-Gobain等的Cz工艺,是直接做2——3寸的。。。
下游的MOCVD设备现在也有3寸的了。。。
罗总,这是哈工大做的吗,听说老毛子一走,他们自己就搞不定了。
[B]以下是引用[I]xtal[/I]在2006-10-23 12:45:00的发言:[/B][BR]p12吋的晶圓, wafer 是12吋/pp8吋 sapphire, wafer 還是 2吋, 因為下游MOCVD量產設備都是for 2 inch wafer/pp長出8 inch sapphire 還是得加工成 2 inch wafer, /pp這樣成本會比較低嗎? 還是不大懂 /p
我们讨论的基础基本是在工艺基础上的,蓝宝石目前的生长方向除了个别公司可以采用C向,其他的都是采用其他方向做的,因此只能生长更大尺寸的晶体,取c面的材料可能更合适
楼上所说的C面蓝宝石在完整性和透过上有欠缺,不是所有家的蓝宝石都这样的吧
前面好象已经说过跟工艺有关系的
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