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[求助]如何去除不锈钢上的二氧化硅薄膜?

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发表于 2005-4-13 03:19:00 | 显示全部楼层 |阅读模式

用PECVD法在不锈钢上镀上了1um的二氧化硅,现想将二氧化硅洗掉,重新利用那块不锈钢片,用什么方法好呢。

谢谢。

发表于 2005-4-18 00:42:00 | 显示全部楼层
可试试喷砂之方法,喷完砂后最好用酒精或丙酮擦拭干净。如果条件允许的话再用超声波清洗一下,烘干后就可使用。
发表于 2005-4-18 02:00:00 | 显示全部楼层
还是用氢氧化钠好,绝对不破坏基材
发表于 2005-4-18 04:29:00 | 显示全部楼层
氢氟酸0.5% mol,注意HF对于眼睛鼻子有刺激,当心使用!
发表于 2005-4-13 19:50:00 | 显示全部楼层
氟化氢氨溶液来泡。注意低温通风哈。
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