[求助]各位离子镀高手

oc77 · 发表于 2005-4-28 04:59:00

各位高手：
　　本人不慎遇到在离子镀膜后出现脱膜的现象。望各位赐教。谢谢！

zz · 发表于 2005-4-28 15:49:00

离子镀应该牢固度很好才对.
是否基片没清洗干净?或是应力过大?或基材和药材不匹配?

oc77 · 发表于 2005-4-29 06:48:00

谢谢2楼楼主了
　　我也不知道怎搞的？同样的清洗方法、同样的基片。但放在不同的设备里镀（都是离子镀）。效果就不一样。我们还用不同的设备做了相同的实验。结果表明应该是设备的问题。但我们仔细查找却找不去一个所以然来。真是失败。
　还得请各位高手指点。谢谢！！！

x_x_x_f · 发表于 2005-4-29 19:02:00

设备有问题的话，会不会是返油？

wazxq · 发表于 2005-4-29 20:49:00

要保证离子源没有问题，不要看到离子源发光就觉得有离子输出。拆开来用仪表测测

zz · 发表于 2005-4-29 21:19:00

那就一个个排除吧
正如楼上所说的,先对设备进行彻底的清洗.若无效果,则离子源有问题.

Jesus · 发表于 2005-4-29 22:28:00

wazxp:
能说下测量离子源输出真实束流的方法吗？例如在基片盘附近放置探测器？

wazxq · 发表于 2005-5-5 23:28:00

这个我没有做过，不好说，不过一些设备厂商说他们做过，测到了工件上每个位置的Ion beam current density.

wazxq · 发表于 2005-5-7 19:20:00

http://www.pfeiffer-vacuum.com.hk/product/massspectrometer/ppm422.htm

zjtzzg · 发表于 2005-5-7 21:00:00

离子源束流与脱膜，这该如何解释？

zz · 发表于 2005-5-8 16:39:00

应力过大.
确实有测离子流或是能量的设备,但应该是做均匀性分析更好.

oc77 · 发表于 2005-5-9 07:22:00

非常感谢你们提出了这么多好的建议。谢谢！
不过有些基片看上去是镀上了，但做了一个循环的腐蚀膏测验后就会出现掉膜的现象。这又是什么原因造成的呢？还请各位多多赐教。谢谢！