哪位神仙能帮忙告诉小弟，4X4mm的铝膜，多厚才能不变性？

leeman_l · 发表于 2005-5-9 01:37:00

各位神仙，小弟先谢了。请问，一个4X4mm大的铝膜，由悬臂支撑，中间悬空。蒸也好，溅也好，不管以什么样的方法制作，需要多少um厚才能保持铝膜不会变形？如果要是使用二氧化硅呢？谢谢了

leeman_l · 发表于 2005-5-9 03:27:00

谢谢yaoxilin100，我想，我可能最终会使用真空封装，可能并不涉及到氧化问题，由于该铝膜是悬空的，由铝制悬臂梁支撑，而且需要小范围振动（MEMS工艺器件），我这里是指，需要大概多厚，才能保证只有铝制悬臂梁发生弯曲，而4X4mm的铝膜不会变性？谢谢:)

leeman_l · 发表于 2005-5-9 03:38:00

靠，有写成“性”了，是形

yaoxilin1003 · 发表于 2005-5-9 02:09:00

这里所指的“不变性（形）”是否是光学性能在成膜后不随着时间而逐步起变化（存在着氧化问题）。如果强调这一点的话，应该在Al膜外加镀保护层（MgF2、SiO2等都可以），而不应该是Al膜的厚度的问题。