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东方子

我设计平面度检测系统，采用相移式斐索干涉仪，用632.8 nm 的He-Ne激光器，检测口径400mm,希望精度达到0.1波长。我用子孔径拼接方案，子孔径直径为120mm. 现在光学部分已经用ZEMAX设计完毕，优化设计结果请看附件。我认为斐索干涉仪的检测光和参考光的光路基本相同，所以相减之后大部分波像差都会相消，我为了避免公差设置过于严格，所以将成像系统的波像差放得较宽，在-1.71到1.33波长之间。但分辨率还是足够的，不知我的想法可对？
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2005-5-11 19:10 上传

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