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东方子 · 发表于 2005-5-11 19:14:00

aaoXZqnG.rar (4.91 KB, 下载次数: 81)
我设计平面度检测系统，采用相移式斐索干涉仪，用632.8 nm 的He-Ne激光器，检测口径400mm,希望精度达到0.1波长。我用子孔径拼接方案，子孔径直径为120mm. 现在光学部分已经用ZEMAX设计完毕，优化设计结果请看附件。我认为斐索干涉仪的检测光和参考光的光路基本相同，所以相减之后大部分波像差都会相消，我为了避免公差设置过于严格，所以将成像系统的波像差放得较宽，在-1.71到1.33波长之间。但分辨率还是足够的，不知我的想法可对？

zta · 发表于 2005-5-12 06:13:00

你的第二个镜片怎么做啊?

东方子 · 发表于 2005-5-14 06:28:00

您是不是说第二片太薄了我看国标GB1205-75中规定，口径>120-150时，凹透镜的中心厚度最小为8-12。这个镜片边缘厚度是很小，但应该能加工吧。
不知这个系统的像差校正得可好，能不能达到预期的检测精度？

minhui25 · 发表于 2005-9-18 00:39:00

第３片中心跟边缘厚薄比是不是有点大

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