有谁用磁控反应溅射（射频）做过氧化钛薄膜吗？寻求帮助

daniell · 发表于 2005-5-12 20:52:00

您好啊，我现在镀氧化钛光学薄膜，要以基底温度为变量，其余参数固定，我想问有没有人知道最优参数啊，我实在找不到啊，急用！拜托！

风之炫彩 · 发表于 2005-5-14 20:09:00

你做的是反应溅射，还是什么，反应溅射时我考虑到反应温度的影响了

zmst · 发表于 2005-5-15 01:57:00

衬底温度不用太高，80～100就可以了