耐高温薄膜

xuxk · 发表于 2005-6-10 01:03:00

想做一个厚度约为2000nm的薄膜元件
但是我需要它能1000度高温,大家有什么好的意见没有?比如材料的选择,工艺的控制,应力的匹配等方面!

snebur · 发表于 2005-6-15 07:14:00

找到材料后再定工艺吧！我认为这是技术的关键！对于此薄膜除温度要求外还有什麽其他要求？

zz · 发表于 2005-6-15 16:01:00

薄膜材料到1000没啥问题,但有什么基体材料能受的了1000呢,不是玻璃吧,啥晶体呢?

xuxk · 发表于 2005-6-15 18:13:00

光学性能要求:可见光反射,紫外红外透过
基底材料我觉得选择石英就可以了
不知大家有何新高见?