请教关于硅片镀膜出现白斑的问题！！！

huafei920 · 发表于 2005-7-16 19:49:00

硅片在扩散的时候不小心沾有水滴，扩散出来后，片子边缘出现蓝色的色斑，用氢氟酸清洗后，表面比较干净，原来的色斑处看不出有什么不同的地方，但用PECVD镀膜就出现白色的斑块，把膜去掉重新镀膜，还会出现上述现象，不知这是什么原因？
请各位指点一下！！！谢谢！
email: huafei920@163.com

coatingli · 发表于 2005-7-16 22:08:00

有没有可能硅片被HF酸处理后表面微观结构发生变化，镀上膜后有光线散射所以会发白，大家讨论。

zhangking · 发表于 2005-7-27 00:46:00

我们公司不做硅镀膜，但是做硅的冷加工。
我们发现用HF酸可以清除硅表面的很多污染：水痕，抛光粉，油印。
但是只能用来清除柱面的污染，表面是不允许使用的，好象就是会腐蚀表面

lisef129219 · 发表于 2007-7-25 11:07:07

HF酸会腐蚀硅表面的

382185026 · 发表于 2009-1-10 08:15:05

HF会腐蚀硅片吗》》》》》》》》》

请教关于硅片镀膜出现白斑的问题！！！

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